柔性基板輸送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)優(yōu)化及糾偏控制.pdf

1、在印刷、紡織、半導(dǎo)體封裝等柔性介質(zhì)生產(chǎn)領(lǐng)域，輥對(duì)輥(Roll to Roll，R2R)傳輸方式是最為常見(jiàn)的一種生產(chǎn)方式。在R2R 傳輸中，基板在輸送過(guò)程中的橫向側(cè)移及張力穩(wěn)定對(duì)加工對(duì)象的質(zhì)量和成品率至關(guān)重要。論文結(jié)合RFID 電子標(biāo)簽封裝裝備研制，深入研究了R2R 傳輸機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)、糾偏控制等關(guān)鍵問(wèn)題。論文的主要研究成果有： 首先，從柔性基板的輸送整體方案入手，就基板輸送系統(tǒng)的機(jī)構(gòu)形式、張力實(shí)現(xiàn)形式以及橫向側(cè)移的控制方式與以前的機(jī)

2、型做了比較，得出現(xiàn)方案相對(duì)合理的結(jié)論。在此基礎(chǔ)上，提出并實(shí)現(xiàn)了基于PMAC的柔性基板輸送的整體控制。 其次，對(duì)R2R機(jī)構(gòu)的兩個(gè)關(guān)鍵部件-轉(zhuǎn)動(dòng)輥筒和支撐側(cè)板進(jìn)行了有限元分析。 基于分析結(jié)果，對(duì)R2R 進(jìn)行了改進(jìn)設(shè)計(jì)，可有效降低托輥的負(fù)載轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和明顯降低了支撐側(cè)板的重量。在此基礎(chǔ)上，對(duì)兩個(gè)關(guān)鍵部件進(jìn)行了模態(tài)分析，結(jié)果表明，機(jī)構(gòu)在整體運(yùn)行中主頻和固有頻率錯(cuò)開(kāi)，整體機(jī)構(gòu)運(yùn)行穩(wěn)定。 最后，通過(guò)建立了橫向側(cè)移的數(shù)學(xué)模型，并