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1、本文研究的主要目的是開(kāi)發(fā)空間保護(hù)薄膜材料。論文介紹以石英片為基底材料，采用直流/射頻磁控共濺射方法制備了非摻雜、摻Al和摻Ti的氧化釩薄膜，重點(diǎn)探索了用這種方法制備非摻雜、摻雜氧化釩薄膜的工藝條件，發(fā)展了一種用反應(yīng)氣體和濺射氣體的流量比例來(lái)控制薄膜組分的新方法。對(duì)所制備的氧化釩薄膜進(jìn)行了熱光性能測(cè)試。實(shí)驗(yàn)及測(cè)試結(jié)果表明，二氧化釩在68℃附近發(fā)生相交，相變前后電學(xué)、光學(xué)性質(zhì)劇烈變化。在二氧化釩薄膜中摻入Ti雜質(zhì)或Al雜質(zhì)，對(duì)薄膜的熱光性質(zhì)
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