亞微米投影光刻物鏡制作的幾項關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、微電子工業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵之一是超大規(guī)模集成電路的制造設(shè)備，而投影光刻物鏡是微電子專用光學(xué)設(shè)備中——分步投影光刻機的核心部件，其技術(shù)水平很大程度上決定了微電子技術(shù)的水平。本文研究源自中國電子科技集團第四十五研究所一項軍工項目，主要內(nèi)容涉及高精度光刻鏡頭的研制。 由于投影光刻物鏡屬衍射極限物鏡，為實現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計的技術(shù)參數(shù)要求，其制作的關(guān)鍵在于合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計，光學(xué)零、部件的加工及其裝校精度，以及相關(guān)的各種測試技術(shù)的保證。本文論述了亞微米

2、(g線或i線)5倍投影光刻物鏡制作中的幾項關(guān)鍵技術(shù)。 文中分析計算了因該光刻物鏡的大數(shù)值孔徑要求而帶來的系統(tǒng)組件多、重量大，從而引起變形大的問題，在此基礎(chǔ)上給出了對投影光刻物鏡結(jié)構(gòu)的改進設(shè)計方案及相應(yīng)材料的選擇方法，并介紹了其技術(shù)實現(xiàn)的關(guān)鍵措施，即透鏡與鏡框的無應(yīng)力粘接-定心-校裝技術(shù)。 針對本文給出的鏡片與鏡框一體化設(shè)計制作的結(jié)構(gòu)方案，討論了相應(yīng)的高精度要求的透鏡中心厚度的測量方法，并分析了在透鏡中心厚度測試儀上進行透

3、鏡中心厚度測試時常見的幾種誤差的影響。 在介紹膠合對心儀原理的基礎(chǔ)上，本文著重介紹了大口徑高精度無變形定心膠合技術(shù)，包括粘接膠的選擇、零件的清潔、膠合及定心調(diào)校、應(yīng)力的退火消除及檢驗等。 結(jié)合EM-9500光刻物鏡裝配、調(diào)整系統(tǒng)在本文研究工作中的應(yīng)用，介紹了投影光刻物鏡的裝配——精加工工藝過程及精度保證措施，同時給出了投影光刻物鏡的檢測與實拍結(jié)果。測試結(jié)果表明在本課題的研究中所運用的各種技術(shù)和方法都是成功的。 本