MEMS靜電驅(qū)動系統(tǒng)中非局部問題研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置設(shè)計方面，一種很重要的方法被稱為靜電驅(qū)動。它是在一個電控可調(diào)電容器上進(jìn)行研究，使用兩個基本物理原理：靜電庫侖定律和彈性形變關(guān)系。本文介紹了靜電驅(qū)動的質(zhì)量彈簧模型，和更一般的靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu).靜電彈性系統(tǒng)。 本文主要討論了帶有Navier邊界條件的靜態(tài)平衡方程該方程模擬了一個簡單的MEMS系統(tǒng)中的靜電驅(qū)動裝置，研究了該裝置中帶電極板在固定邊界條件下的偏轉(zhuǎn)情形。 本文詳細(xì)的介紹了靜電驅(qū)動的數(shù)學(xué)模型，及

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