版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、本學(xué)位論文結(jié)合國家自然科學(xué)基金項目:城市軌道交通激勵下高精密設(shè)備平臺微振動混合控制(項目批準(zhǔn)號:50578058),對高精密設(shè)備隔振平臺進(jìn)行混合控制的理論與仿真研究。
自從20世紀(jì)80年代以來,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)迅速發(fā)展為一個新興的科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。在制造、測量微機(jī)電系統(tǒng)器件時,需要一個非常穩(wěn)定的高精密設(shè)備隔振平臺。高精密設(shè)備隔振平臺需要隔離的環(huán)境干擾是復(fù)雜的,不僅要求隔離如大地脈動、機(jī)器運轉(zhuǎn)、車輛行駛、人員走動等引起的地
2、面振動,還要求對空調(diào)氣流、聲音、馬達(dá)等引起的作用于平臺的振動能夠迅速消除。高精密設(shè)備平臺隔振系統(tǒng)的設(shè)計需要考慮的振動頻率范圍為0~100Hz,而被動控制和主動控制相結(jié)合的混合控制能滿足同時隔離高頻干擾和低頻干擾的要求。
本文開展以下研究工作:
1)本文首先設(shè)計了一個由空氣彈簧作為被動隔振元件,超磁致伸縮作動器作為主動控制元件的多自由度高精密設(shè)備隔振平臺。在這種微振動混合控制中,空氣彈簧起著隔離高頻振動的作用,而主動控
3、制則有效地隔離低頻振動。然后分析和討論了作為被動隔振元件的空氣彈簧和作為主動控制元件的超磁致伸縮作動器的物理模型。建立了高精密設(shè)備隔振平臺的簡化動力學(xué)分析模型,并在考慮平臺和三層高科技廠房結(jié)構(gòu)耦合的情況下對隔振平臺進(jìn)行了動力學(xué)分析,得出了動力學(xué)方程的表達(dá)式及各參數(shù)的取值。
2)本文定義了基礎(chǔ)干擾和直接干擾同時作用下隔振平臺的振動傳遞率表達(dá)式,并針對考慮隔振效果時最受關(guān)注的Z方向?qū)Ω粽衿脚_的振動傳遞率進(jìn)行了計算和分析,為研究復(fù)雜
4、環(huán)境干擾作用下的微振動控制提供了理論基礎(chǔ)。
3)針對所設(shè)計的高精密設(shè)備隔振平臺在MATLAB軟件中SIMULINK下分別進(jìn)行了LQG控制、模糊控制、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制等多種控制算法的仿真,并以被動隔振系統(tǒng)為比較對象,對隔振平臺分別在基礎(chǔ)干擾作用下、直接干擾作用下、基礎(chǔ)干擾和直接干擾同時作用下的位移和速度曲線進(jìn)行了分析,同時也對三種主動控制算法進(jìn)行了橫向比較分析。
通過以上研究工作的開展,在高精密設(shè)備平臺微振動控制中,采取主
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 高精密設(shè)備多自由度平臺系統(tǒng)微振動混合控制研究.pdf
- MR阻尼器用于高精密設(shè)備平臺微振動控制的研究.pdf
- 環(huán)境激勵下結(jié)構(gòu)及內(nèi)部設(shè)備平臺微振動混合控制研究.pdf
- 高精密定位平臺的位移耦合控制方法研究.pdf
- 多自由隔振平臺微振動混合控制研究.pdf
- 基于LMI的高精密設(shè)備隔振平臺的魯棒H2-H∞控制.pdf
- 激光高精密加工設(shè)備研發(fā)與工藝研究.pdf
- 高速高精密雙軸同步控制研究.pdf
- 高精密球徑球度測試?yán)碚摷皺C(jī)構(gòu)研究.pdf
- 高精密和超精密機(jī)床
- 環(huán)境微振動下超精密加工設(shè)備的響應(yīng)研究.pdf
- 微制造平臺振動主動控制研究.pdf
- 高精密數(shù)控車床宏微驅(qū)動進(jìn)給系統(tǒng)研究.pdf
- 關(guān)于擺動振動控制的理論研究.pdf
- 宏微驅(qū)動控制及其在高精密數(shù)控車床上的應(yīng)用研究.pdf
- 綠色高精密電子設(shè)備帶電清洗劑.pdf
- 高精密激光切割的理論及應(yīng)用技術(shù)研究.pdf
- 水潤滑高速高精密主軸研究.pdf
- 高精密寬溫測量與控制系統(tǒng)研制.pdf
- 一種高精密溫度控制儀的研究與實現(xiàn).pdf
評論
0/150
提交評論