宏微驅(qū)動控制及其在高精密數(shù)控車床上的應用研究.pdf

1、隨著計算機技術(shù)、材料技術(shù)、超精密加工技術(shù)的發(fā)展，加工精度已經(jīng)開始進入納米級，對其所需的加工機床提出了更高的要求。機床進給系統(tǒng)是影響機床整機性能的關(guān)鍵因素之一，提高進給精度的主要途徑之一就是采用宏微驅(qū)動進給系統(tǒng)，由宏驅(qū)動實現(xiàn)加工尺寸及輪廓，由微驅(qū)動進行尺寸、輪廓的誤差補償，達到超精密加工要求，在大行程高精度加工領(lǐng)域，宏微驅(qū)動進給系統(tǒng)受到越來越多的應用和關(guān)注。本文在深入了解國內(nèi)外高精密機床及宏微驅(qū)動研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，探討宏微驅(qū)動最優(yōu)控制問題

2、，以及宏微驅(qū)動在車床上的應用。
　　交流伺服電機加滾珠絲杠的宏驅(qū)動和壓電驅(qū)動柔性鉸鏈導軌的微驅(qū)動耦合成宏微驅(qū)動平臺，在系統(tǒng)的動態(tài)特性研究中，建立了對宏動臺、微動臺的數(shù)學模型，根據(jù)宏、微工作臺的串聯(lián)形式建立整體動態(tài)模型，分析了宏、微工作臺之間的動態(tài)耦合關(guān)系，并分別求得其傳遞函數(shù)，為控制系統(tǒng)設(shè)計及實驗研究提供理論基礎(chǔ)。
　　宏微驅(qū)動由PMAC集中智能控制，交流伺服電機采用了PID控制方法;微動機構(gòu)采用PI加濾波器閉環(huán)控制，其閉環(huán)

3、時控制分辨率達1.2nm;宏/微結(jié)合時采用了自適應控制及邏輯控制，宏微驅(qū)動總系統(tǒng)的控制方案有點位靜態(tài)補償控制、點位動態(tài)補償控制以及連續(xù)定位控制，分別探討了其實現(xiàn)原理與控制流程。
　　構(gòu)建了宏微驅(qū)動實驗系統(tǒng)，分別研究了宏微驅(qū)動實驗的性能測試與控制實驗，性能測試有:微動系統(tǒng)動態(tài)特性、宏動系統(tǒng)檢測精度對比、微動系統(tǒng)開閉環(huán)精度對比以及編碼器、光柵、激光干涉儀測量精度的對比，從而為控制方案的確定提實驗依據(jù)。而后進行了點定位動、靜補償實驗和連