iEMS(智能機臺監(jiān)控系統(tǒng))在天津FAB廠的實施與應(yīng)用.pdf

1、設(shè)備自動化程序(EAP)是目前8英寸以上晶片廠制程品質(zhì)管理上不可或缺的程序。當(dāng)每一批料(Lot)生產(chǎn)前后都會經(jīng)由EAP做確認動作，并且管理晶片的制程配方及控制機臺操作，一旦發(fā)現(xiàn)異常情形，這批料將暫停生產(chǎn)工藝加工，以防止錯誤的操作以及整批料報廢等嚴重后果發(fā)生。EAP系統(tǒng)與制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)系統(tǒng)相結(jié)合，控制每一批料的正常加工流程，并通過量測機臺反饋的相關(guān)資料統(tǒng)計、分析晶片、機臺的狀態(tài)。 但是這樣的品質(zhì)管理職能在批料與批料之間做控

2、制，對于因為機臺處于不穩(wěn)定的環(huán)境、狀態(tài)生產(chǎn)晶片的情形，并沒有有效地監(jiān)控。這種情形不僅增加晶片的返工(Rework)、報廢(Scrap)的幾率，也不利于對機臺的及時、有效管理。為此衍生的智能機臺監(jiān)控系統(tǒng)(iEMS)，是基于EAP、MES系統(tǒng)，并作為計算機集成制造(CIM)的一個重要組成，用于實時監(jiān)控機臺狀態(tài)、及時做出反應(yīng)并提供數(shù)據(jù)分析的一個十分強大的系統(tǒng)。 智能機臺監(jiān)控系統(tǒng)(iEMS)系統(tǒng)由iEMS數(shù)據(jù)庫(DB:DataBase)

3、、iEMSCellServer、相關(guān)EAP和iEMSUI組成。iEMSDB用來存儲所有數(shù)據(jù)，包括所有參數(shù)列表(ParametersList)、原始參數(shù)值(RawData)、用戶設(shè)定的參數(shù)規(guī)格(SPEC)、超出規(guī)格后應(yīng)實施的相應(yīng)動作(Actions)、以及超出規(guī)格的參數(shù)值的歷史記錄(OOSHistory)等。iEMSCellServer的功能是對數(shù)據(jù)進行分門別類、決定數(shù)據(jù)存儲的位置、以及對數(shù)據(jù)進行檢驗。EAP系統(tǒng)是iEMS數(shù)據(jù)的收集系統(tǒng)，