基于激光干涉?zhèn)鞲械亩S運動平臺研制.pdf

1、在精密加工、精密檢測等現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域，對精密位移及定位的要求越來越高。二維運動平臺是高精度測量系統(tǒng)和高精密加工系統(tǒng)的核心部件。完整的二維運動平臺主要包括機械運動系統(tǒng)、位移傳感系統(tǒng)和運動控制系統(tǒng)三個部分。本文主要研究平臺的機械運動系統(tǒng)和位移傳感系統(tǒng)。
　　基于激光干涉?zhèn)鞲欣碚摷捌潢P(guān)鍵技術(shù)的分析，設(shè)計了基于邁克爾遜干涉光路的單頻激光干涉光路，得到穩(wěn)定的干涉條紋。選用具有多窗口、高光電轉(zhuǎn)換速度和高效率的藍紫激光光電轉(zhuǎn)換器件實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換

2、，得到兩路正交的模擬干涉信號。在干涉信號處理方面，設(shè)計并制作干涉信號處理電路，實現(xiàn)了消除直流電平、濾波、放大等功能，得到符合細(xì)分卡要求的正交信號。細(xì)分卡輸出細(xì)分后的數(shù)字位移信號給位移顯示系統(tǒng)或直線電機驅(qū)動器。
　　基于現(xiàn)有各種類型機械運動平臺的分析，設(shè)計了直線電機直接驅(qū)動的H型氣浮工作臺。工作臺的空氣靜壓軸承采用平面全封閉結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)氣膜預(yù)加載。運用Fluent軟件對氣膜工作狀態(tài)進行仿真，得到承載氣膜的壓強分布、承載能力、軸承剛度等