基于負(fù)載-源牽引法的微波大功率自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的研制與應(yīng)用.pdf

1、隨著半導(dǎo)體器件的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體器件的計(jì)量測(cè)試在器件的研制和應(yīng)用中占有重要的地位。通過各種工藝制成的器件，最終檢驗(yàn)其性能的優(yōu)劣就是通過對(duì)器件的參數(shù)測(cè)試來完成的。在器件的應(yīng)用中必須提供器件的特性參數(shù)才能進(jìn)行要求的電路設(shè)計(jì)，從而實(shí)施電路的結(jié)構(gòu)和裝調(diào)。基于負(fù)載/源牽引法的微波大功率自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)能使用戶在完全真實(shí)的情況下將已知的負(fù)載/源阻抗加到被測(cè)器件，從而找到被測(cè)器件參數(shù)的各種變化和最佳值。 本文主要介紹微波大功率自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的研制以

2、及測(cè)試系統(tǒng)的實(shí)際應(yīng)用，其中對(duì)于測(cè)試系統(tǒng)的核心部件——自動(dòng)調(diào)配器的研究工作進(jìn)行了擴(kuò)展，包括滑塊結(jié)構(gòu)對(duì)反射系數(shù)的影響，以及利用不同雙滑塊進(jìn)行頻帶的擴(kuò)展兩個(gè)方面。本文首先介紹了負(fù)載牽引法的重要性以及微波大功率自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)研制的必要性。其中較為詳細(xì)的介紹了測(cè)試系統(tǒng)的搭建，自動(dòng)調(diào)配器的校準(zhǔn)軟件，以及系統(tǒng)的測(cè)試軟件。最后介紹微波大功率自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的實(shí)際應(yīng)用，其中主要是功率器件的參數(shù)測(cè)試，包括輸入輸出阻抗，交調(diào)，功率增益等，并將測(cè)試系統(tǒng)的應(yīng)用延伸到了