Ka波段硅基分布式MEMS傳輸線移相器射頻特性研究.pdf_第1頁(yè)
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1、工學(xué)博士學(xué)位論文Ka波段硅基分布式MEMS傳輸線移相器射頻特性研究RADIOFREQUENCYACTERISTICSOFKaBDISTRIBUTEDMEMSTRANSMISSIONLINEPHASESHIFTERONSILICONSUBSTRATE賀訓(xùn)軍哈爾濱工業(yè)大學(xué)2008年7月ClassifiedIndex:TM154U.D.C:654DissertationftheDoctalDegreeinEngineeringRADIOFRE

2、QUENCYACTERISTICSOFKaBDISTRIBUTEDMEMSTRANSMISSIONLINEPHASESHIFTERONSILICONSUBSTRATECidate：HeXunjunSupervis：Prof.WuQunAcademicDegreeAppliedf：DoctofEngineeringSpeciality：MicroelectronicsSolidStateElectronicsAffiliation：Sch

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