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文檔簡(jiǎn)介
1、 本文在分類介紹了加載線型RFMEMS相移器、開(kāi)關(guān)線型RFMEMS相移器及反射型RFMEMS相移器的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)研究了一“位”數(shù)字式開(kāi)關(guān)線型MEMS相移器及其重要組件——并聯(lián)接觸式MEMS開(kāi)關(guān)。由于開(kāi)關(guān)線型MEMS移相器的工作電壓決定于并聯(lián)接觸式MEMS開(kāi)關(guān)的下拉電壓，本文利用雙端固定、雙端驅(qū)動(dòng)的力電模型代替以往雙端固定、單端驅(qū)動(dòng)的力電模型對(duì)并聯(lián)接觸式MEMS開(kāi)關(guān)的下拉電壓模型進(jìn)行了較為精確的理論修正。與實(shí)驗(yàn)結(jié)果比對(duì)表明：經(jīng)修正的模型
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