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文檔簡介
1、非晶硅太陽能電池目前主要存在的問題,一是轉換效率低,二是穩(wěn)定性不好。 ZnO:Al/Al 復合背反射電極的應用可以增加光在電池I 層的光程,從而增加了I 層對光的吸收,提高了電池的效率。此外,增加了ZnO:Al/Al 復合背反射電極后在同樣的效率下可以減薄I 層,增加電池的穩(wěn)定性。對ZnO:Al/Al 復合背反射電極的研究主要集中在電池n層和ZnO:Al 薄膜的匹配。 本論文對電池的n 層沉積條件和ZnO:Al 薄膜的磁
2、控濺射條件進行了研究,目的就是找出電池N 層和ZnO:Al 薄膜的最佳匹配條件。 對于電池N 層的研究,試驗中固定了ZnO:Al 薄膜的磁控濺射條件,研究不同n 層沉積條件下制得的電池在增加ZnO:Al/Al 復合背反射電極后電池性能的改變,最終得出電池在沉積溫度為190 ℃,沉積時間為40 分鐘,硅烷濃度為0.75%SC 時得到的電池性能最好。 對于ZnO:Al 薄膜的研究,試驗中固定電池的沉積條件,研究不同的濺射條件
3、下制得的ZnO:Al 薄膜用在電池上對電池性能的影響,來確定ZnO:Al 薄膜的最佳濺射條件。試驗最終得出最佳的磁控濺射條件:小車運行次數(shù)為7 次、濺射氬氣和氧氣的流量比為18:2.5、濺射靶距為5 cm、濺射反應壓力為3.5 mtorr 時制得的ZnO:Al 薄膜和電池N 層的匹配最好。 本論文還對ZnO:Al/Al 復合背反射電極應用在天津市津能電池科技有限公司生產(chǎn)的電池上的濺射條件進行了研究。找出了最佳的濺射條件,使得電池
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