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1、華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文非晶硅疊層太陽能電池制備技術(shù)研究姓名：張銳申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：材料物理與化學(xué)指導(dǎo)教師：曾祥斌20080528IIAbstractWiththeincreasingdemofrenewableenvironmentallyacceptableterrestrialenergyresourcessolarenergyhasbeenoneofthemostpromisingenergyresources.Solar
2、radiationisinexhaustiblenopollutionlowcostwhichbecomeanewwaytoeasetheenergyshtage.ComparedwithcrystalsiliconsolarcellsthethinfilmaSi:Hsolarcellshaveadvantagesasfollowing:ThefabricationtechnologyofaSi:Hsolarcellsissimple.
3、ThelowdepositiontemperatureusingthelowcostofmaterialmakethelowcostofaSi:Hsolarcellseasytointegration.ButsinglejunctionbasedamphoussolarcellconversionefficiencyislowhaveSWeffect.TemaSi:Hsolarcellenhancethesolarphotovoltai
4、cconversionefficiencystabilitybythebgapadjustments.InthisthesiswehaveinvestigatedaSi:Htemthinfilmsolarcellboththeeticallyexperimentally.Focusingontheaboveresearchdirectionthispaperdetailedlyinvestigatedthetechnologywhich
5、takingH2SiH4B2H6PH3CH4asreactiongasestopreparedifferentlayersbyPECVD.Wehaveinvestigatedthepreparationofamphoussiliconthinfilmtheinfluenceofdepositionparametersonitselectricalopticalproperties.Byoptimizingthepreparationco
6、nditionofaSi:HsolarcelldesignwesucceededtoprepareaaSiCaSisinglejunctionsolarcellwithconversionefficiency4.09%(Voc=0.82VJsc=7.25mAcm2)atalowersubstratetemperatureoflessthan200℃.ThanwesucceededtoprepareaaSiCaSidoublejuncti
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