磁控濺射制備Sb-ZnO薄膜及其性能研究.pdf_第1頁(yè)
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1、南京航空航天大學(xué)碩士學(xué)位論文磁控濺射制備SbZnO薄膜及其性能研究姓名：常春榮申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：材料加工工程指導(dǎo)教師：李子全20060301磁控濺射制備SbZnO薄膜及其性能研究ii直流阻抗譜結(jié)果表明ZnO薄膜具有壓敏特性，當(dāng)外加電壓低于臨界電壓時(shí)，ZnO薄膜服從歐姆定律；而當(dāng)高于臨界電壓時(shí)，薄膜中的電流急劇增加而使迅速薄膜擊穿，薄膜導(dǎo)通，450℃退火的ZnO薄膜具有較優(yōu)的介電強(qiáng)度。ZnO薄膜的電阻溫度特性測(cè)試結(jié)果表明，SbZnO

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