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1、天津大學碩士學位論文MgOSiOTiO系介質(zhì)材料的研究姓名：朱征申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：吳霞宛20030101ABSTRACTItiswellknownthathigh—frequencyceramicshavebeenwidelyusedinalotofapplicationsAmongagreatnumberofhigh—frequencydielectricmaterials，MgO—Si02Ti02
2、systemischosentotobestudiedinthispaperinordertoimprovethepropertiesofthiskindofceramicmaterialWiththereformationmechanismasareference，theoptimumcompositionofthispaperisdeterminedMgO—Si02Ti02systemistheprincipalceramicsys
3、tem，addingZnOB20”C0203、CaTiO，and(Zro8Sn。2)Ti04(ZST)toadjustthepropertiesofthedielectricmaterialbasedonMgOSiOzTi02systemThefollowingaspectshavebeenstudied，suchasthesystemcompositionmechanism，theoptimumcontentofadditives，f
4、abricationprocess，especiallytheeffectoftemperatureandSOonByaddingproperquantitiesofC0203、CaTi03andZSTtothesystem，theceramicmaterialwithlowdielectricloss(tan6)、lowtemperaturecoefficientofcapacitanceandhighinsulationresist
5、ancecanbeobtainedAfteragreatnumberofexperiments，Iachievethefollowingresults：：Dielectricconstant：￡=18士2(1MHZ)Dielectricloss：tan63X10。4(1MHZ)Temperaturecoefficientofcapacitance：Ⅱc=(0土30)x10’6／℃(25℃一85℃，IOOKHZ)InsulationRes
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