MgO-TiO2系微波介質(zhì)材料的研究與應(yīng)用.pdf

1、MgOTiO2系微波系微波介質(zhì)介質(zhì)材料的材料的研究與應(yīng)用研究與應(yīng)用TheinvestigationapplicationfmicrowavedielectricmaterialofMgOTiO2學(xué)科專業(yè)：微電子與固體電子學(xué)研究生：張明名指導(dǎo)教師：李玲霞教授天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院二零一二年十二月摘要微波介質(zhì)材料在現(xiàn)代微波技術(shù)中的作用越來越重要。本文以微波介質(zhì)材料MgTiO3和Mg1.8Ti1.1O4為研究對象，探討微觀結(jié)構(gòu)與介電性能之間

2、聯(lián)系，建立材料組成、晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)鍵性質(zhì)與介電性能間關(guān)系。選擇頻率溫度系數(shù)補償材料，實現(xiàn)近零頻率溫度系數(shù)介質(zhì)基板，介質(zhì)諧振器的制作。利用ADS軟件設(shè)計微帶濾波器并完成實物制作。1.MgTiO3體系改性研究：利用傳統(tǒng)固相法，選擇ZnO、CoO、NiO、MnO氧化物進行二價離子置換，制備(Mg1xMx)TiO3(M=NiZnCoMn)微波介質(zhì)陶瓷；系統(tǒng)研究二價離子對MgTiO3晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)鍵性質(zhì)及微波介電性能的影響；采用Rietveld方

3、法對樣品進行晶體結(jié)構(gòu)精修，得到MgTiO3的全譜擬合圖。利用晶胞參數(shù)、密堆積密度、化學(xué)鍵等建立理論模型，探索晶體結(jié)構(gòu)與介電性能之間關(guān)系；選擇頻率溫度系數(shù)補償材料，探索工藝，實現(xiàn)近零頻率溫度系數(shù)微波介質(zhì)基板的制作；2.Mg1.8Ti1.1O4體系改性研究：探索燒結(jié)助劑，選擇ZnO為添加劑，研究其降低燒結(jié)溫度機理，探索其對微波介電性能的改善作用；選擇頻率溫度系數(shù)補償材料，經(jīng)過固相材料工藝，完成近零頻率溫度系數(shù)微波介質(zhì)諧振器制作；3.微帶濾波