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1、GaN系列材料在光電、能量裝置等方面有著廣闊的應(yīng)用范圍和市場(chǎng)前景。采用MOCVD技術(shù)進(jìn)行GaN系列材料生長(zhǎng)具有明顯優(yōu)勢(shì)。研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD系統(tǒng)具有十分重要的戰(zhàn)略意義。而溫度是MOCVD系統(tǒng)中的極為關(guān)鍵的控制量。本文的工作就是設(shè)計(jì)一個(gè)能很好滿足要求的溫度控制器，主要工作包括了三方面。 首先，設(shè)計(jì)了溫度控制器的硬件，總體設(shè)計(jì)以簡(jiǎn)單和經(jīng)濟(jì)為基本出發(fā)點(diǎn)，盡量選用低價(jià)的高性能芯片以節(jié)省設(shè)計(jì)成本；并選擇串行工作方式，最大程度的
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