合肥同步輻射反射率計(jì)的改進(jìn).pdf

1、合肥同步輻射實(shí)驗(yàn)室光譜輻射標(biāo)準(zhǔn)與計(jì)量站主要從事標(biāo)準(zhǔn)光源比對原理和方法、探測器標(biāo)準(zhǔn)傳遞、氣體吸收截面測試、反射率及透射率的測試幾個(gè)方面的工作,其中反射率計(jì)主要用于測量各種光學(xué)元器件的反射率.它的建立為國內(nèi)X射線～真空紫外波段光柵、反射鏡的測試作出了重要貢獻(xiàn).但該裝置實(shí)際使用也發(fā)現(xiàn)存在著一些嚴(yán)重影響測試精度和測試效率的問題: 1)對入射光、反射光不能同時(shí)測量,光源出現(xiàn)波動(dòng)時(shí),嚴(yán)重影響測試精度; 2)測試效率低,"破空--更換

2、樣品--重新抽空"這樣的工作循環(huán)使該裝置的使用效率受到嚴(yán)重影響; 3)操作不便. 針對上述問題,通過查閱相關(guān)文獻(xiàn),結(jié)合實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn),本文在不對現(xiàn)結(jié)構(gòu)作大改動(dòng)的前提下,提出了幾種解決問題的設(shè)計(jì)方案,具體措施包括: 1)在入射光側(cè)設(shè)計(jì)-光強(qiáng)測量傳感器,實(shí)現(xiàn)入射光/反射光基本同步監(jiān)測; 2)在現(xiàn)有結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,將真空室加長,增加預(yù)抽室,更換樣品不需破空,大幅提高了反射率計(jì)的使用效率; 3)改進(jìn)濾片送給裝置