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1、上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文基于一維納米電極的場(chǎng)致分子電離MEMS氣體傳感器應(yīng)用基礎(chǔ)研究姓名:侯中宇申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:蔡炳初20080301上海交通大學(xué)博士學(xué)位論文摘要模式下器件的性能特征。通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn),根據(jù)傳感器應(yīng)用情景的不同,各種結(jié)構(gòu)的器件、不同的檢測(cè)模式各有所長(zhǎng),可以互相配合、取長(zhǎng)補(bǔ)短,根據(jù)這一現(xiàn)象,本論文提出“協(xié)同”檢測(cè)的概念,并設(shè)計(jì)出三極式MEMS微納電極系統(tǒng),可以使臨界電壓、局部自持放電電
2、流和離子電流的氣敏檢測(cè)在~個(gè)器件上實(shí)現(xiàn)。將本文的研究結(jié)論綜合起來(lái),可以得到一個(gè)清晰的有關(guān)一維電極系統(tǒng)氣體放電過(guò)程及其電學(xué)表征的物理圖景,這個(gè)物理圖景基于一維電極氣體放電的極化帶理論模型,求證于系統(tǒng)的基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)研究和基礎(chǔ)理論研究,應(yīng)用于OEFIMEMS器件的設(shè)計(jì)、制造和檢測(cè),最后用堅(jiān)實(shí)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)證明:OEFIMEMS器件是一種很有發(fā)展?jié)摿Φ腗EMS器件,有可能成為MEMS的一個(gè)新的研究方向。關(guān)鍵詞:微機(jī)電系統(tǒng),氣體傳感器,呼吸傳感器,氣體放
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