激光微細熔覆直寫技術制作厚膜溫度傳感器的初步研究.pdf

1、傳感器在信息社會的發(fā)展中起著舉足輕重的作用。作為傳感器家族中的一員，厚膜傳感器朝著小型化、集成化、高精度方向發(fā)展。與傳統(tǒng)的厚膜傳感器制作技術相比，激光微細熔覆直寫技術具有無掩模限制，柔性化程度高，制作周期短，圖形分辨率高、質量好等優(yōu)點，顯示出良好的工業(yè)應用前景。 本課題利用釕系厚膜熱敏電阻漿料，在96﹪wt 的Al2O3 的陶瓷基板上成功地制作出熱敏電阻器。熱敏電阻圖形的極限線寬線距能達到60 μ m ，制備時激光束的掃描速度可

2、達70mm/s 。元件的TCR 值為2330ppm/℃，熱響應時間2.3S,線性度<1 ℃，有著良好的重復性、熱穩(wěn)定性和遲滯性。 通過實驗得出了膜層預置工藝、激光處理工藝、高溫燒結工藝中參數對元件性能的影響規(guī)律。分析了熱敏元件的電極制作工藝，指出電極的制作工序應該在電阻制作工序之后，而且兩種漿料可以同時進行燒結以簡化工藝。對所制作熱敏電阻元件的各項電性能進行測量，并與傳統(tǒng)工藝制作的元件進行了比較，測試結果證實新工藝制作的元件具有