曲面基底衍射光學元件加工工藝研究.pdf

1、本文根據(jù)衍射元件在光學系統(tǒng)中的特殊應(yīng)用，利用本實驗室的實驗條件，進行了平凸型折衍混合透鏡的制作研究。在制作過程中分析和研究了幾何成像和利用衍射進行對準的兩類方法。最后采用幾何成像的方法，實現(xiàn)了偏心誤差小于10um的對準，完成了16臺階的平凸型衍射器件的加工工作。本文同時分析了衍射器件軸外點成像時候衍射效率隨著入射角變化的變化情況。分析的過程中我們采用了相對簡單的標量衍射的方法，得出了如何改進衍射效率的方法。 第一部分文章主要是通

2、過總結(jié)衍射光學器件制作工藝的發(fā)展，得出了衍射器件的發(fā)展的方向。我們發(fā)現(xiàn)衍射器件向亞微米發(fā)展是一種必然的趨勢，而發(fā)展的進程很大程度上取決于光機電的聯(lián)合發(fā)展狀況。 第二部分文章在介紹菲涅耳透鏡設(shè)計原理和衍射效率計算的基礎(chǔ)上，重點分析了存在各種加工誤差時候的衍射效率的計算情況。通過模擬分析得出了存在刻蝕深度誤差、對準誤差以及工作波長誤差的時候衍射效率的變化情況和相關(guān)的計算方法。同時，文章采用了標量衍射方法，通過兩種不同的途徑，計算了衍