紫外熔石英光學(xué)元件加工缺陷鈍化工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、熔石英元件在強光光學(xué)系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用,但低下的加工效率與元件的抗激光損傷能力嚴(yán)重制約了強光光學(xué)系統(tǒng)的發(fā)展,因此,實現(xiàn)紫外熔石英元件高效、高閾值加工有著迫切的工程需求與應(yīng)用前景。本文圍繞實現(xiàn)高閾值、高效率加工所迫切需要解決的有關(guān)理論和技術(shù)問題,通過理論分析、時域有限差分仿真、工藝實驗和加工實例相結(jié)合的方法,對磁流變拋光、HF酸洗工藝對缺陷的鈍化加工特性進行探索,并對聯(lián)合工藝的閾值提升機理進行了有益的探索。
  本研究主要內(nèi)容包括

2、:⑴建立了時域有限差分仿真結(jié)果與真實閾值的聯(lián)系,并對典型缺陷的閾值影響規(guī)律進行仿真。認(rèn)為對于結(jié)構(gòu)性缺陷,主體的寬深比是改變其閾值影響的主要因素,缺陷寬深比越大,對閾值的影響越小。這為后續(xù)工作提供了評估元件閾值水平的有效工具,以指導(dǎo)加工。⑵提出了磁流變拋光對缺陷的鈍化作用。通過實驗證實磁流變拋光并非逐層均勻的去除缺陷,而是使缺陷寬度基本保持不變,減小缺陷深度,使其變鈍,從而增大閾值。建立磁流變拋光與HF酸洗鈍化效率模型,并分析了鈍化作用對

3、閾值的影響。為最終加工的實現(xiàn)提供工藝基礎(chǔ)。⑶從鈍化缺陷的角度解釋了磁流變拋光與HF酸洗聯(lián)合工藝對閾值的高效提升,并最終實現(xiàn)之。該工藝在保留表面可見缺陷的前提下,達到了較高的閾值,相較于完全去除缺陷的“零缺陷”樣件,加工時間縮短至原來的38.5%,卻僅使閾值惡化了8.2%。⑷在熔石英元件高效、高閾值需求的牽引下,通過理論分析、時域有限差分仿真、工藝及實例研究,深化了對磁流變拋光、HF酸洗等閾值提升工藝的認(rèn)識,提出了磁流變拋光對結(jié)構(gòu)性缺陷的

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