非球面鏡表面加工誤差和成像質(zhì)量分析方法的研究.pdf

1、由于非球面鏡在性能上大大優(yōu)于球面鏡,近年來得到了廣泛的應(yīng)用,但非球面的加工和檢驗(yàn)要比球面鏡困難得多.本文主要以非球面透鏡的加工表面為研究對(duì)像,按照超精密測(cè)量機(jī)的測(cè)量方式模擬測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn),研究一種基于曲線擬合和光線追跡方法的誤差分析和像質(zhì)評(píng)價(jià)方法,總結(jié)出一組成像質(zhì)量評(píng)價(jià)參數(shù).主要過程為首先采用非線性最小二乘擬合的方法進(jìn)行曲線擬合,并計(jì)算出曲線上各點(diǎn)的切矢量和曲率半徑,分析它們的誤差,最后對(duì)擬合后的曲線用光線追跡的方法得到非球面鏡的聚焦情況.

2、 主要包括以下內(nèi)容: 1.分析了各種非球面透鏡加工和檢測(cè)方法及其優(yōu)缺點(diǎn), 闡明了非球面加工及檢測(cè)的現(xiàn)狀和研究意義. 2.介紹了常用的幾種曲線擬合方法,分析了它們的擬合精度和優(yōu)缺點(diǎn),并根據(jù)本課題研究的需要,最終選擇了非線性最小二乘擬合法作為實(shí)際擬合方法. 3.研究透鏡和各種像差產(chǎn)生的原因和對(duì)成像質(zhì)量的影響,找出了與透鏡成像質(zhì)量關(guān)系較密切的幾個(gè)參數(shù)作為主要研究對(duì)像,通過分析傳統(tǒng)的評(píng)定參數(shù)與光學(xué)性能的聯(lián)系,提出