基于MEMS技術(shù)的TiNi（Cu）-Si復(fù)合膜動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)特性的優(yōu)化.pdf_第1頁(yè)
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1、MEMS技術(shù)是面向21世紀(jì)一門(mén)新興技術(shù),而微驅(qū)動(dòng)器是其核心部件.與其它微驅(qū)動(dòng)方式相比,以TiNi基為代表的形狀記憶合金(SMA)薄膜因其做功密度高、可恢復(fù)應(yīng)變大、輸出應(yīng)力大、驅(qū)動(dòng)電壓低、生物相容性好等顯著優(yōu)點(diǎn),而成為微驅(qū)動(dòng)器中最具應(yīng)用潛力的驅(qū)動(dòng)方式之一,并可望在醫(yī)學(xué)、生物、化工、集成光學(xué)等方面得到廣泛的應(yīng)用.但是,由于SMA薄膜通常利用熱相變作為驅(qū)動(dòng)源,這大大限制了SMA薄膜微驅(qū)動(dòng)器的頻響特性,這也是制約其廣泛應(yīng)用的瓶頸.對(duì)此,該文圍繞

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