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文檔簡介
1、本課題根據(jù)被動閥微泵的工作原理，提出了一種基于MEMS技術具有V型微閥的新型微驅動器，對微驅動器結構中的PZT復合薄板、微閥的制作、特性進行了工藝模擬，設計了相關制作工藝及版圖尺寸，并實現(xiàn)了微驅動器。通過理論分析給出方形PZT復合薄板的驅動電壓與撓度、復合薄板的厚度與撓度，復合薄板厚度與固有頻率的關系，為方形硅杯結構微系統(tǒng)器件的理論與實驗的進一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過程中發(fā)現(xiàn)V型微閥設計制作的關鍵因素是硅各向異性腐蝕技術與設計
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