基于微電磁驅(qū)動(dòng)的新型MEMS光開關(guān)研制.pdf

1、該文研究開發(fā)了幾種新型的微機(jī)電系統(tǒng)光開關(guān),成功解決了微驅(qū)動(dòng)器研制、光開關(guān)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和光路調(diào)整等問(wèn)題.所開發(fā)的光開關(guān)具有插入損耗低、體積小等優(yōu)異性能,并已通過(guò)上海市科委組織的成果鑒定,受到了鑒定專家的好評(píng).設(shè)計(jì)制造了一種新型MEMS擺動(dòng)式微電磁驅(qū)動(dòng)器,該驅(qū)動(dòng)器采用雙定子單擺盤和多線圈多磁極的軸向磁通結(jié)構(gòu),具有較大的輸出力矩.微驅(qū)動(dòng)器采用了微細(xì)加工、精密制造及精密裝配相結(jié)合的制造工藝.定子采用鐵氧體導(dǎo)磁材料基板,保證了磁路閉合.利用一套以

2、掩模工藝為主,配上深層光刻、濺射和干法刻蝕為輔的非硅材料微細(xì)加工工藝,確保了字子的加工質(zhì)量.擺盤采用硅鋼處膠合釤鈷永磁材料結(jié)構(gòu),并對(duì)其進(jìn)行飽和充磁來(lái)提高輸出力矩.利用微電磁驅(qū)動(dòng)器作為驅(qū)動(dòng)源,設(shè)計(jì)制造了1×2、2×2、1×4、和1×8四種典型的光開關(guān).用高斯光束傳輸理論和矩陣光學(xué)說(shuō)明了光纖通過(guò)自聚焦透鏡耦合時(shí)位置誤差對(duì)耦合損耗的影響.對(duì)光開關(guān)的插入損耗、回波損耗、消光比和重復(fù)性等光學(xué)性能參數(shù)進(jìn)行了測(cè)量.測(cè)試結(jié)果表明,所研制的光開關(guān)具有優(yōu)良