基于準(zhǔn)LIGA技術(shù)制作微齒輪的研究.pdf

1、LIGA技術(shù)是近年來(lái)才開(kāi)展起來(lái)的一門(mén)新技術(shù)，是微細(xì)加工的一種較理想新方法。其主要工藝有X射線光刻，電鑄成型和塑料鑄模等。由于同步輻射X光有非常好的平行性、極強(qiáng)的輻射強(qiáng)度、連續(xù)的光譜，使LIGA技術(shù)能夠制造出高寬比大到500、厚度幾近1000μm的微三維立體結(jié)構(gòu)。它在制造很厚的微機(jī)械結(jié)構(gòu)方面有其獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)，在高深寬比微結(jié)構(gòu)的制作上也占有很重要的地位。LIGA技術(shù)的出現(xiàn)，使原來(lái)難以實(shí)現(xiàn)的微機(jī)械結(jié)構(gòu)能夠制造出來(lái)。但是，LIGA技術(shù)采用同步輻射X

2、射線進(jìn)行光刻，設(shè)施昂貴，掩模制造工藝復(fù)雜，限制了它的廣泛應(yīng)用。因此，如能采用常規(guī)的紫外線光刻，結(jié)合其它的MEMS技術(shù)制作可動(dòng)微結(jié)構(gòu)將會(huì)大大推動(dòng)MEMS的研究工作。 本文以一種微齒輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的制作過(guò)程為例，探索了一種基于LIGA的新型準(zhǔn)LIGA技術(shù)。該技術(shù)有如下三大特點(diǎn)：首先，光刻過(guò)程采用普通紫外線曝光，設(shè)備便宜；其次，結(jié)合三層光刻膠光刻工藝制作鍍模，制作的微齒輪結(jié)構(gòu)厚度能達(dá)到40μm，深寬比為2；最后，為控制微齒輪的內(nèi)孔和軸之間