微振動對超精密磨削光學(xué)非球面的成型精度影響研究.pdf

1、本文在系統(tǒng)總結(jié)分析國內(nèi)外非球面超精密磨削加工技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，系統(tǒng)研究了非球面超精密數(shù)控磨床的砂輪軸和磨床主軸的微振動對非球面磨削加工的面形精度的影響。利用Solidworks軟件建立了砂輪軸及支座、磨床主軸的三維模型，用ANSYS軟件進行了砂輪軸、砂輪支座、磨床主軸固有頻率的仿真分析，建立了砂輪軸和磨床主軸的徑向微振動和軸向微振動對磨削非球面面形精度影響的數(shù)學(xué)模型，分析了砂輪軸和磨床主軸徑向和軸向微振動對加工精度的影響。所設(shè)計的高

2、精度激光非接觸砂輪軸和磨床主軸微振動測量裝置的測量精度達到0.02μm，系統(tǒng)研究了改變砂輪軸和磨床主軸的轉(zhuǎn)速、砂輪軸靜壓軸承和磨床主軸靜壓軸承的油壓對砂輪軸和磨床主軸的徑向微振動和軸向微振動的影響，發(fā)現(xiàn)隨著砂輪軸和磨床主軸轉(zhuǎn)速增加，砂輪軸徑向和軸向振動、磨床主軸的徑向振動減少。得出了使砂輪軸綜合微振動量最小時的砂輪軸的轉(zhuǎn)速和油壓，以及使磨床主軸微振動量最小時的磨床主軸的轉(zhuǎn)速和油壓，并在此種條件下加工了一塊面型精度小于4μm的中型非球面，