測量系統(tǒng)分析在集成電路測試中的應(yīng)用.pdf

1、測量系統(tǒng)分析測量系統(tǒng)分析測量系統(tǒng)分析測量系統(tǒng)分析在集成電路測試中的應(yīng)用在集成電路測試中的應(yīng)用在集成電路測試中的應(yīng)用在集成電路測試中的應(yīng)用MSAApplicationinICTestProcess學(xué)科專業(yè)：集成電路工程研究生：黃曉斌指導(dǎo)教師：張之圣教授企業(yè)導(dǎo)師武立樹高級工程師天津大學(xué)電信學(xué)院二零一二年五月1摘摘摘摘要要要要測量系統(tǒng)分析（MSA，MeasurementSystemAnalysis）是ISOTS16949汽車行業(yè)質(zhì)量管理體系的

2、核心要素之一。很多跨國公司在考察供應(yīng)商時，都很注重審查供應(yīng)商的質(zhì)量管理體系，其中衡量供應(yīng)商的質(zhì)量保證能力的一個重要參考指標(biāo)就是MSA的應(yīng)用情況。同時，測量系統(tǒng)分析也是六西格瑪質(zhì)量管理方法的一項重要內(nèi)容，是實施DMAIC持續(xù)質(zhì)量改進(jìn)的關(guān)鍵工具之一。本論文主要對測量系統(tǒng)分析的理論和方法作了較為系統(tǒng)的介紹，給出了計量型、計數(shù)型測量系統(tǒng)分析的主要特性指標(biāo)及研究方法。結(jié)合本單位的實際情況，本文分析和討論了集成電路測試過程中的測量系統(tǒng)的評價內(nèi)容和方

3、法，對如何在集成電路測試過程中應(yīng)用測量系統(tǒng)分析提出了詳細(xì)的實施方案，內(nèi)容包括測試過程簡介、測試系統(tǒng)構(gòu)成介紹、測試的參數(shù)分類、影響測試過程的因素分析、模擬參數(shù)方法進(jìn)行MSA的可行性分析、MSA仿真程序的開發(fā)、計量型測量系統(tǒng)的MSA、計數(shù)型測量系統(tǒng)的MSA、MSA程序書及指導(dǎo)書的制定等內(nèi)容。本文用實例詳細(xì)說明了應(yīng)用Minitab統(tǒng)計軟件進(jìn)行MSA數(shù)據(jù)分析的方法，極大簡化了MSA數(shù)據(jù)分析過程中的復(fù)雜計算。并開創(chuàng)性地提出應(yīng)用模擬參數(shù)代替實際樣件