雙重計(jì)算全息圖用于非球面絕對(duì)檢驗(yàn)的研究.pdf

1、在干涉檢驗(yàn)中，測試結(jié)果一般都包含測量的系統(tǒng)誤差，如果要進(jìn)一步消除系統(tǒng)誤差對(duì)測量精度的影響，可采用絕對(duì)檢驗(yàn)的方法。絕對(duì)檢驗(yàn)采用多次測量并根據(jù)一定的數(shù)學(xué)模型，從參考光路、系統(tǒng)誤差等這些誤差中把被測表面相對(duì)于理想表面的偏差分離出來，有效的提高了面形測量精度。 文章首先概括介紹了非球面的基本特性和已有的非球面檢測方法后，分析了非球面絕對(duì)檢驗(yàn)的必要性。通過對(duì)球面和非球面兩者基本特性比較后，在球面絕對(duì)檢驗(yàn)方法的基礎(chǔ)上，拓展出非球面絕對(duì)檢驗(yàn)方

2、法，并進(jìn)行了詳細(xì)的討論。根據(jù)非球面絕對(duì)檢驗(yàn)方法，對(duì)非球面絕對(duì)檢驗(yàn)中最為關(guān)鍵的一個(gè)器件一雙重計(jì)算全息圖的編碼方法和條件進(jìn)行了分析研究，對(duì)其自身的誤差以及測量調(diào)整過程中的引入誤差進(jìn)行了總結(jié)。在雙重計(jì)算全息圖中，兩組全息圖圖形偏差造成的波面誤差與頻率是相關(guān)的，如確定其中一組全息圖誤差，推算出另一組計(jì)算全息圖的誤差，為了驗(yàn)證這一觀點(diǎn)，采用了自行編碼設(shè)計(jì)的Twin-Fresnel zone mirrors(簡寫為Twin-FZM)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，