2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、鈾材料部件的腐蝕是一個(gè)較為嚴(yán)重的問(wèn)題,為了提鈾材料部件的表面抗腐蝕能力,人們?cè)絹?lái)越多的關(guān)注表面改性問(wèn)題.各種表面改性技術(shù)逐步發(fā)展起來(lái),各種抗腐材料也不斷出現(xiàn),其中非平衡磁控濺射技術(shù)是近期比較常采用的一種制膜技術(shù),ZrN是一種較具吸引力的抗腐材料.該文探討了制備ZrN薄膜的微波-ECR等離子體增強(qiáng)非平衡磁控濺射沉積工藝.對(duì)微波-ECR等離子體增強(qiáng)非平衡磁控濺射沉積工藝制備的薄膜,采用電子探針、EDX、AEX、XRD、SEM進(jìn)行成分及微觀結(jié)

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