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文檔簡介
1、隨著社會的不斷發(fā)展,人們所設(shè)計的集成電路中的半導(dǎo)體器件的工作頻率日益提高,能夠工作在太赫茲(THz)頻率下的電子器件,以及作為新興技術(shù)的太赫茲和相關(guān)的技術(shù),越來越受到人們的重視。作為半導(dǎo)體器件之一的等離子體波器件,得益于電子等離子體波特有的工作頻率,是可能工作在這個頻率下的器件之一,有可能作為將來的太赫茲波發(fā)生器和接收機的核心部件的組成部分,有很大的應(yīng)用前景及研究意義。
本文介紹了MOSFET和HEMT的基本原理,介紹了器件反
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