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文檔簡介
1、論文的主要研究工作包括：1、分析了電子網(wǎng)板現(xiàn)有的各種檢測方法;2、設計了一套具有透射和反射照明的光學成像系統(tǒng),利用系統(tǒng)的透射光和反射光來實現(xiàn)網(wǎng)孔的上下表面的孔形尺寸測量,為了提高對焦的精度,系統(tǒng)采用了物方遠心光路;3、由于光學成像系統(tǒng)的景深非常小,而電子網(wǎng)板是具有一定厚度的,為了提高上下表面孔形尺寸測量精度,設計了一套基于圖像的自動調(diào)焦系統(tǒng),提出了幾種可實用的自動調(diào)焦算法;4、針對顯微放大的攝像機成像系統(tǒng),論文提出了一種新的攝像機定標方
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