虛擬樣機技術(shù)在磁懸浮精密定位平臺中的機電一體化研究.pdf

1、本文綜述了微電子制造設(shè)備發(fā)展趨勢及其精密工作臺如光刻機工作臺的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀及磁懸浮技術(shù)研究進展，概述了磁懸浮技術(shù)及直線電機驅(qū)動的工作原理，介紹了虛擬樣機技術(shù)，詳細研究了了虛擬樣機的方法，闡明了應(yīng)用虛擬樣機技術(shù)研制磁懸浮精密定位工作臺的現(xiàn)實意義。 將磁懸浮技術(shù)和直線驅(qū)動技術(shù)相結(jié)合，采用虛擬樣機技術(shù)手段設(shè)計研究了一種新型磁懸浮精密定位工作臺，它是針對微電子行業(yè)IC芯片制造設(shè)備如光刻機而研制的快速步進、精密定位機構(gòu)，是創(chuàng)新性研究。利

2、用磁懸浮技術(shù)將工作臺懸浮在倒F導(dǎo)軌上，消除了導(dǎo)軌的摩擦和磨損；直線電機無接觸驅(qū)動實現(xiàn)了工作臺的精密定位。運用虛擬樣機技術(shù)，采用CAD/CAE/CAM集成軟件Ugnx2.0對磁懸浮定位工件臺進行三維概念設(shè)計，機構(gòu)運動分析和干涉檢查，結(jié)構(gòu)布局合理。 應(yīng)用ADAMS/Controls模塊與MATLAB聯(lián)合仿真技術(shù)對磁懸浮精密定位平臺原理樣機機械系統(tǒng)與控制系統(tǒng)采取了聯(lián)合設(shè)計、調(diào)試，并進行了機電一體化仿真，最終確定了最優(yōu)的方案。