基于DSP的電子束曝光機(jī)圖形發(fā)生器控制器的研究.pdf

1、本文主要內(nèi)容共6章.第一章簡(jiǎn)單介紹了電子束曝光技術(shù)的背景知識(shí),包括國(guó)內(nèi)外電子束曝光技術(shù)的發(fā)展過程和趨勢(shì)、電子束曝光機(jī)以及圖形發(fā)生器的研制與應(yīng)用.圖形發(fā)生器是計(jì)算機(jī)與曝光機(jī)<'[1]>之間的一個(gè)高速執(zhí)行部件,也是最復(fù)雜的部分之一.本課題研制圖形發(fā)生器的DSP控制器是為了適應(yīng)高速特殊圖形的掃描.其主要作用是將計(jì)算機(jī)經(jīng)過USB傳來的單元圖形數(shù)據(jù),由圖形發(fā)生器(Pattern Generator)中硬件單元依次產(chǎn)生要曝光的各點(diǎn)X、Y坐標(biāo)值,再將

2、這些值經(jīng)過高速度、高精度數(shù)模轉(zhuǎn)換器(D/A)變換成對(duì)應(yīng)的模擬量,驅(qū)動(dòng)偏轉(zhuǎn)放大器以控制電子束偏轉(zhuǎn),對(duì)掩模或硅片進(jìn)行掃描曝光.其功能包括傳輸和檢測(cè)控制,產(chǎn)生矩形、梯形、圓及圓環(huán)圖形,展開圖組和圖庫(kù),掃描控制,外圍顯示及電源控制.與傳統(tǒng)的圖形發(fā)生器相比,由于DSP運(yùn)算精度高,運(yùn)算速度快的特點(diǎn),DSP圖形發(fā)生器具有很多的優(yōu)勢(shì).從系統(tǒng)結(jié)構(gòu)上看,DSP圖形發(fā)生器以VC33-C板為核心進(jìn)行擴(kuò)展.新擴(kuò)展FIFO用來與PC機(jī)通訊,FIFO采用IDT公司的

3、IDT7202芯片,初步設(shè)計(jì)兩片F(xiàn)IFO,一片用于PC機(jī)向DSP傳輸數(shù)據(jù),另一片用于DSP向PC機(jī)傳輸數(shù)據(jù).現(xiàn)選定PC機(jī)與DSP采用USB通訊.在本課題中USB通訊采用的是哈爾濱工業(yè)大學(xué)迅通電子科技有限公司開發(fā)的USB100模塊.FLASH用于存儲(chǔ)開機(jī)引導(dǎo)程序.擴(kuò)展I/O以便控制圖形發(fā)生器的各寄存器、計(jì)數(shù)器.擴(kuò)展RAM用于存放庫(kù)圖索引以及存放圖庫(kù)數(shù)據(jù).在圖形發(fā)生器軟件系統(tǒng)中簡(jiǎn)介紹了現(xiàn)在流行的COFF文件格式,以及圖形發(fā)生器接受的DY51