基于DSP的電子束曝光機圖形發(fā)生器控制器的研究.pdf

1、本文主要內容共6章.第一章簡單介紹了電子束曝光技術的背景知識,包括國內外電子束曝光技術的發(fā)展過程和趨勢、電子束曝光機以及圖形發(fā)生器的研制與應用.圖形發(fā)生器是計算機與曝光機<'[1]>之間的一個高速執(zhí)行部件,也是最復雜的部分之一.本課題研制圖形發(fā)生器的DSP控制器是為了適應高速特殊圖形的掃描.其主要作用是將計算機經過USB傳來的單元圖形數據,由圖形發(fā)生器(Pattern Generator)中硬件單元依次產生要曝光的各點X、Y坐標值,再將

2、這些值經過高速度、高精度數模轉換器(D/A)變換成對應的模擬量,驅動偏轉放大器以控制電子束偏轉,對掩模或硅片進行掃描曝光.其功能包括傳輸和檢測控制,產生矩形、梯形、圓及圓環(huán)圖形,展開圖組和圖庫,掃描控制,外圍顯示及電源控制.與傳統(tǒng)的圖形發(fā)生器相比,由于DSP運算精度高,運算速度快的特點,DSP圖形發(fā)生器具有很多的優(yōu)勢.從系統(tǒng)結構上看,DSP圖形發(fā)生器以VC33-C板為核心進行擴展.新擴展FIFO用來與PC機通訊,FIFO采用IDT公司的

3、IDT7202芯片,初步設計兩片F(xiàn)IFO,一片用于PC機向DSP傳輸數據,另一片用于DSP向PC機傳輸數據.現(xiàn)選定PC機與DSP采用USB通訊.在本課題中USB通訊采用的是哈爾濱工業(yè)大學迅通電子科技有限公司開發(fā)的USB100模塊.FLASH用于存儲開機引導程序.擴展I/O以便控制圖形發(fā)生器的各寄存器、計數器.擴展RAM用于存放庫圖索引以及存放圖庫數據.在圖形發(fā)生器軟件系統(tǒng)中簡介紹了現(xiàn)在流行的COFF文件格式,以及圖形發(fā)生器接受的DY51