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1、電子束曝光機(jī)系統(tǒng)是微電子工業(yè)和微細(xì)加工研究與開發(fā)不可缺少的大型精密設(shè)備.圖形發(fā)生器是該系統(tǒng)中的一個(gè)核心部件.該論文介紹了圖形發(fā)生器通信接口的實(shí)現(xiàn)以及數(shù)模/模數(shù)轉(zhuǎn)換器的設(shè)計(jì).論文簡(jiǎn)單介紹了USB1.1(Universal Serial Bus)協(xié)議,主要介紹了基于USB1.1協(xié)議的圖形發(fā)生器通信接口的軟件編程的實(shí)現(xiàn)方法.論文中介紹了模數(shù)轉(zhuǎn)換器的設(shè)計(jì)方案,設(shè)計(jì)方案以ADI公司的模數(shù)轉(zhuǎn)換芯片AD9223為核心,根據(jù)電子束曝光機(jī)背散射信號(hào)的特點(diǎn)
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