基于DSP的新型圖形發(fā)生器主控制器的研究.pdf

1、電子束曝光機是目前微細加工領(lǐng)域極具前途的一種光刻手段,是納米級圖形加工的理想方式.圖形發(fā)生器是電子束曝光機的關(guān)鍵部件,該論文針對現(xiàn)有的圖形發(fā)生器存在的主要問題,借鑒了當今國內(nèi)外電子束曝光機圖形發(fā)生器的長處與不足,采用DSP芯片作為圖形數(shù)據(jù)處理的核心單元,提出了一套功能完備的新型掃描電子束曝光機圖形發(fā)生器的硬件設(shè)計方案.該論文分為五個章節(jié)主要介紹了電子束曝光技術(shù)的發(fā)展背景、圖形發(fā)生器的工作原理與國內(nèi)外現(xiàn)狀、圖形發(fā)生器的總體方案設(shè)計、圖形發(fā)

2、生器硬件電路設(shè)計(包括DSP數(shù)字信號處理電路、數(shù)據(jù)傳輸接口電路、存儲器擴展電路、邏輯控制電路、標記檢測控制電路、曝光控制電路和束閘控制電路)、電路調(diào)試與驗證、CPLD控制軟件設(shè)計與仿真等.該方案具有數(shù)據(jù)處理能力強、運算速度快、接口方便等優(yōu)點,克服了傳統(tǒng)圖形發(fā)生器單純依靠軟件完成,速度慢,精度低,工作不穩(wěn)定的缺點.目前圖形發(fā)生器硬件設(shè)計工作已基本完成.并通過調(diào)試成功的實現(xiàn)了DSP引導(dǎo)裝載、存儲器讀寫、接口數(shù)據(jù)傳輸與片上器件的邏輯控制等功能