石英晶片厚度檢測儀研究與設計.pdf

1、隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展,對石英晶體產(chǎn)品的產(chǎn)量、質(zhì)量和性能提出了更高的要求,這就相應的要求晶體生產(chǎn)行業(yè)加速生產(chǎn)設備與質(zhì)量檢測設備的研究與開發(fā).本課題所研究的石英晶體厚度檢測儀就是為國內(nèi)晶體行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測而開發(fā),它可以取代同類昂貴進口設備而用于晶體生產(chǎn)企業(yè)晶片研磨厚度與成品厚度檢測.在論文中,首先簡要分析了我國晶體生產(chǎn)行業(yè)現(xiàn)狀,論述了研究開發(fā)晶體厚度檢測儀的必要性,進而分析了國內(nèi)外厚度檢測儀研究情況,在此基礎上詳細論述了本課題研究開發(fā)的晶

2、體厚度檢測儀的設計思想、工作原理、組成功能結構及硬件模塊結構.然后根據(jù)組成結構模塊對傳感器功能原理與選用、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)原理與結構、數(shù)據(jù)處理思想與功能設計、數(shù)據(jù)顯示功能結構等進行了分別闡述與設計.最后,簡要論述了系統(tǒng)抗干擾設計與模塊化軟件設計思想.在研究中主要完成了以下幾方面研究設計工作:●選用靈敏度較高的LVDT差動傳感器與其標準接口電路芯片AD2S93組成厚度信號采集調(diào)理系統(tǒng),完成厚度信號的轉換,模擬電壓信號到數(shù)字信號的12A/D采樣

3、以及單片機處理系統(tǒng)的數(shù)據(jù)輸入功能.●采用低功耗液晶顯示器與可編程多功能LCD顯示驅(qū)動專用芯片HT1621構成6位LCD顯示系統(tǒng),完成處理系統(tǒng)參數(shù)修改顯示與厚度測試結果顯示.●采用功能強大、性能穩(wěn)定可靠的AT89C52單片機作單片處理器與外圍接口芯片電路組成厚度檢測儀,完成參數(shù)設定、數(shù)據(jù)錄入與處理、結果輸出等功能.本課題設計的石英晶片厚度檢測儀具有結構簡單、操作方便、性能穩(wěn)定可靠、精確度高等特點,可廣泛使用于超薄物件的精確測量,具有很好的