石英晶片表面在線檢測(cè)算法研究.pdf

1、隨著工業(yè)水平的不斷提高，工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備已從人工操作設(shè)備向全自動(dòng)、半自動(dòng)機(jī)器設(shè)備轉(zhuǎn)變。基于機(jī)器視覺的智能檢測(cè)類設(shè)備逐步代替依靠人眼的各類檢測(cè)環(huán)節(jié)，提高檢測(cè)精度，增加工業(yè)生產(chǎn)效率。本文以全自動(dòng)石英晶片外觀分選機(jī)項(xiàng)目為例，介紹了機(jī)器視覺與數(shù)字圖像處理系統(tǒng)在工業(yè)檢測(cè)中的應(yīng)用，并在前人的基礎(chǔ)上提出更加準(zhǔn)確的檢測(cè)方案，以適應(yīng)更多種類晶片的外觀檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)改變依靠人工目檢的生產(chǎn)現(xiàn)狀，提高晶片制造行業(yè)整體的科技水平。
　　 本文將首先從介紹機(jī)器視覺

2、檢測(cè)技術(shù)開始，進(jìn)而介紹本文例證的石英晶片的生產(chǎn)工序相關(guān)信息與缺陷成因、分析，及目前針對(duì)于石英晶片外觀檢測(cè)技術(shù)自動(dòng)化的現(xiàn)狀，提出本項(xiàng)目的要求和預(yù)期。然后著重介紹了本項(xiàng)目研制的石英晶片外觀分選機(jī)的四大模塊組成，從外觀到算法整體描述了該機(jī)的設(shè)計(jì)方案。創(chuàng)造性的根據(jù)晶片外觀的種類以及客觀物理量與圖像的聯(lián)系對(duì)算法進(jìn)行分類，并實(shí)現(xiàn)對(duì)分類環(huán)節(jié)的自動(dòng)標(biāo)定。從宏觀角度分析缺陷的矢量描述與定量模式識(shí)別之間的聯(lián)系，驗(yàn)證圖像分析中的缺陷認(rèn)知以及該認(rèn)知對(duì)應(yīng)于實(shí)際物