電磁驅(qū)動電容式振動微機(jī)械陀螺接口電路研究.pdf

1、微機(jī)械陀螺由于使用了MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)作為加工手段,使得其體積、成本等相對于傳統(tǒng)的陀螺儀有很大的下降,同時,其加工手段有可能與集成電路工藝兼容,從而有望在汽車工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用.該論文主要針對電磁驅(qū)動電容檢測的振動式微機(jī)械陀螺,對其接口電路的相關(guān)理論和實(shí)現(xiàn)進(jìn)行了研究.首先,根據(jù)振動式微機(jī)械陀螺的工作原理,建立了動力學(xué)模型,并對動力學(xué)方程求解,在此基礎(chǔ)上,得出對接口電路有用的結(jié)論;對電磁驅(qū)動和電容檢測作了概述;建

2、立了陀螺器件等效的電學(xué)模型,借助電學(xué)模型,可以動態(tài)地觀察陀螺器件的特性,并為接口電路與陀螺器件的混合仿真提供方便.然后,詳細(xì)研究了電磁驅(qū)動的相關(guān)理論和實(shí)現(xiàn).對強(qiáng)迫振動和自激振蕩這兩種驅(qū)動方式作了研究,重點(diǎn)放在自激振蕩驅(qū)動上.對自激振蕩理論和實(shí)現(xiàn)進(jìn)行了研究,設(shè)計(jì)了電路,并對各個模塊仿真驗(yàn)證,在此基礎(chǔ)上制作了電路板,調(diào)試電路,實(shí)現(xiàn)了自激振蕩驅(qū)動,并就改進(jìn)工作提出建議.接著,對檢測電路進(jìn)行了研究.對一種C—V變換ASIC的各個功能模塊進(jìn)行分析