CMOS工藝的微機(jī)械陀螺儀接口電路設(shè)計(jì).pdf

1、陀螺儀用來測(cè)量物體轉(zhuǎn)動(dòng)的角速度或角度，獲得的數(shù)據(jù)經(jīng)過處理后就可以得到物體運(yùn)動(dòng)的速度、位移、方向等信息，從而可以精確捕捉物體的姿態(tài)從而相應(yīng)進(jìn)行控制。陀螺儀在汽車、航空航天、軍事、工業(yè)、醫(yī)療等領(lǐng)域有著極為廣泛的應(yīng)用。作為陀螺儀的一種，微機(jī)械陀螺儀與傳統(tǒng)的陀螺儀相比，具有成本低、體積小、重量輕等優(yōu)點(diǎn)，因而其應(yīng)用前景最為廣泛。
　　 陀螺儀系統(tǒng)的微機(jī)械敏感結(jié)構(gòu)部分的性能提高受到成本，工藝的限制有較高難度，故提高接口電路的各項(xiàng)性能成為提升

2、整個(gè)系統(tǒng)性能的關(guān)鍵。因此，電容檢測(cè)電路作為微機(jī)械陀螺儀系統(tǒng)中非常重要的組成部分，該電路的各項(xiàng)性能指標(biāo)起著決定性作用。目前國(guó)內(nèi)使用的陀螺儀接口電路基本采用分立元件搭建而成，主要問題是寄生效應(yīng)比較嚴(yán)重，精度差，體積大，功耗大。因此單片集成的接口電路的研究具有重大意義。
　　 為了實(shí)現(xiàn)電路功能并達(dá)到各項(xiàng)指標(biāo)要求，本文從系統(tǒng)設(shè)計(jì)到各模塊的電路參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)均有詳細(xì)的分析與描述。本課題采用Chartered 0.35μm CMOS工藝，所設(shè)