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1、硅晶片摻雜用固態(tài)磷擴(kuò)散源是一種片狀的、常溫下性能穩(wěn)定、在高溫下能分解并穩(wěn)定釋放出Pz05的功能陶瓷材料。本文采用溶膠-凝膠法合成了LaP5O14粉體,并以該粉體為原料,通過(guò)常壓燒結(jié)制備了硅晶片摻雜用固態(tài)磷擴(kuò)散源片。采用DSC-TG、DTA-TG、XRD、SEM等測(cè)試手段對(duì)試驗(yàn)中的樣品進(jìn)行表征,得到了以下結(jié)論:
在800℃保溫5h的煅燒制度下,合成了以柱狀結(jié)構(gòu)LaP5O14為主品相的粉體,晶體尺寸為10gm;LaP5O14粉
2、體能夠在850℃分解并釋均勻放出P2O5,失重量與時(shí)間近似于線(xiàn)性關(guān)系,粉體在850℃保溫5h的失重量與LaP5O14含量成正比。同時(shí)研究表明,隨著煅燒溫度的提高,LaP5O14的含量呈現(xiàn)先增加后減少的趨勢(shì),晶體尺寸先增大后變小;隨著保溫時(shí)間的延長(zhǎng),LaP5O14含量增加,晶體尺寸增大。
以L(fǎng)aP5O14粉體為原料加入磷酸鹽玻璃作為燒結(jié)助劑,在900℃保溫1h的燒結(jié)制度下制備了磷擴(kuò)散源片,隨著燒結(jié)溫度的提高,磷擴(kuò)散源樣品中L
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