基于LabVIEW的單頻激光測(cè)量系統(tǒng)誤差補(bǔ)償技術(shù)的研究.pdf

1、現(xiàn)如今，激光干涉測(cè)量技術(shù)發(fā)展得已經(jīng)很成熟。在位移測(cè)量方面，要想在光學(xué)上提高干涉儀分辨率及精度難度較大。而隨著硬技術(shù)和軟件技術(shù)的升級(jí)，使得高分辨力、高精度的激光干涉儀得以發(fā)展。具體來說，就是利用硬件電路或軟件的方法濾除各種誤差源導(dǎo)致的信號(hào)的失真與變形。
　　單頻激光干涉儀的誤差源主要由三部分組成。第一部分是單頻激光測(cè)量系統(tǒng)固有誤差，包括量化誤差和非正交誤差以及非線性誤差等;第二部分是由于環(huán)境變化引起的誤差，包括折射率誤差，光學(xué)熱漂移

2、等;第三部分是系統(tǒng)的安裝誤差，包括阿貝誤差、余弦誤差等。在這所有的誤差源中，有三類誤差一直是人們研究的熱點(diǎn)。即由于環(huán)境的改變而引起的空氣折射率的改變而導(dǎo)致的激光波長(zhǎng)誤差和由于單頻激光干涉儀中的光電元件存在的參數(shù)誤差和位置誤差、外界環(huán)境因素的影響而導(dǎo)致正交信號(hào)的非線性誤差以及測(cè)量時(shí)的阿貝誤差。為了提高激光干涉測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度，則必須補(bǔ)償或消除這三部分的誤差。為了補(bǔ)償阿貝誤差，在測(cè)量長(zhǎng)度的同時(shí)，對(duì)導(dǎo)軌的俯仰角和偏擺角也進(jìn)行了測(cè)量。