X-Y工作臺(tái)誤差測量與補(bǔ)償系統(tǒng)的研究.pdf

1、該研究結(jié)合當(dāng)前的研究情況,從實(shí)際出發(fā),構(gòu)建了實(shí)驗(yàn)用X-Y工作臺(tái),并利用激光多普勒測量儀和光柵分別對滾珠絲杠的螺距誤差進(jìn)行了測量和補(bǔ)償.實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了研究的有效性.該文在分析了X-Y工作臺(tái)上所做的實(shí)驗(yàn)內(nèi)容的基礎(chǔ)上,確定了工作臺(tái)軟硬件平臺(tái)的設(shè)計(jì)方案.首先,通過機(jī)械部分的安裝調(diào)整以及控制電路部分的連接,建立了完整的硬件系統(tǒng).對整個(gè)系統(tǒng)而言,機(jī)械部分的精度是整個(gè)系統(tǒng)定位精度的基礎(chǔ),對系統(tǒng)的整體性能起決定作用.其次,通過控制部分軟件以及測量及數(shù)據(jù)

2、處理部分的設(shè)計(jì),建立了完整的X-Y工作臺(tái)系統(tǒng).軟件部分是系統(tǒng)的大腦,對系統(tǒng)的可操作性和控制效果起決定性作用.第三,通過線程間的同步和建立同步事件來響應(yīng)工作臺(tái)中斷,解決了WINDOWS下中斷調(diào)用問題,實(shí)現(xiàn)了光柵的動(dòng)態(tài)測量.針對工作臺(tái)定位誤差的測量與分析,對誤差的成因及影響進(jìn)行了分類探討.基于分析結(jié)果和對補(bǔ)償方法的理論分析,采用軟硬結(jié)合的方法對不同誤差進(jìn)行了分類補(bǔ)償.通過加裝原點(diǎn)開關(guān)和改進(jìn)原點(diǎn)信號的捕捉方法,有效提高了系統(tǒng)的重復(fù)精度;對于系