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文檔簡介
1、鑒于終端設(shè)計在功率晶體管設(shè)計中的重要地位,本文主要對目前廣泛應(yīng)用的終端結(jié)構(gòu)的研究,探討它們的優(yōu)缺點。結(jié)合本公司特有的半絕緣摻氧多晶硅(SIPOS)表面鈍化膜層,通過實驗對比測試的方法,優(yōu)選出適合本公司摻氧多晶硅鈍化結(jié)構(gòu)的理想終端設(shè)計結(jié)構(gòu),形成統(tǒng)一的設(shè)計規(guī)則。本文的工作共進(jìn)行了三個階段的試驗,采用TANNER計算機(jī)輔助設(shè)計軟件,每次都在一塊光刻掩膜版上同時制作多種結(jié)構(gòu)進(jìn)行對比,通過實際流片、在線測試以及產(chǎn)出后測試,特別是部分重復(fù)試驗和提高
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