光刻膠剝離工藝IPA消減方法研究.pdf

1、隨著TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)技術的逐漸成熟，LCD(液晶顯示器)的使用正變得越來越廣泛。然而，在LCD 廣闊需求帶來的大規(guī)模生產(chǎn)之外，我們也不得不考慮生產(chǎn)過程中的一些問題。IPA(異丙醇)的使用超標可能會造成嚴重的環(huán)境問題。譬如，IPA是一種低沸點易揮發(fā)的易燃物質(zhì)，其閃點只有126.7℃，遇熱或火焰容易爆炸；IPA 有毒，其毒性介于甲醇和乙醇之間，吸入過量IPA 蒸氣可能危害人體健康；此外，IPA 蒸氣受陽光照射還會形成臭

2、氧，其光化學煙霧會刺激人的眼睛和呼吸系統(tǒng)，危害人體健康及植物生長。IPA是一種對環(huán)境、人體均有害的化學品，這就需要設法對IPA 用量進行消減，以使IPA 排放量合乎規(guī)格。
　　 本文首先總體介紹了液晶顯示器的發(fā)展及制造流程，著重講述了陣列的制作過程與剝離工藝。為了獲得穩(wěn)定良好的剝離效果，目前行業(yè)內(nèi)主要使用溶劑系剝離液進行剝離。由于溶劑系剝離液中一般含有Amine(銨)的成份，而Amine 水解生成的OH-(堿離子)會與Gate(

3、柵極)中的Al(金屬鋁)反應，造成Al 腐蝕，影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此一般剝離工藝在剝離單元之后通常都會使用IPA 進行剝離液的置換，以去除剝離后玻璃基板表面殘存的有機成分，并防止基板上的剝離液在水洗槽水解后與Al反應造成的Al 腐蝕。但是，這種剝離方法在產(chǎn)能提升時，其IPA 用量及排廢量會有較大提高。這會對廢水的處理能力造成重大壓力，影響環(huán)境及生產(chǎn)。
　　 本文從工藝及設備等角度先后提出了四個備選方案，通過對工藝及設備改造成本的綜合