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1、 本課針對MEMS封裝設(shè)備中高速精密平面定位機(jī)構(gòu)的軌跡生成和封裝頭驅(qū)動單元的力控制這兩個關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行研究。 在封裝運(yùn)動機(jī)構(gòu)建模方面，建立了高速精密平面定位機(jī)構(gòu)的運(yùn)動學(xué)和動力學(xué)模型，以及封裝頭驅(qū)動單元在無封裝力作用下和有封裝力作用下的數(shù)學(xué)模型。 在封裝運(yùn)動機(jī)構(gòu)的平面軌跡生成方面，分析了高速精密平面定位機(jī)構(gòu)在工作空間內(nèi)速度和加速度的特性，提出一種可達(dá)最大速度和最大加速度的計算方法，并且基于系數(shù)存儲法實(shí)現(xiàn)了簡單、高效的快速運(yùn)動軌跡生
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