400—1100nm寬帶增透膜的設(shè)計與制備.pdf_第1頁
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1、分類號：塑212UDC：密級：——編號：——400—11OOnm寬帶增透膜的設(shè)計與制備DESIGNANDFABRICATIoNoF4001100NMARF【LM學位授予單位及代碼：籃查理王太堂l!!!!!≥研究方向：左焦星籃箍皇叢堡申請學位級別：亟指導教師：盟歪些塾援研究生：壁塞越論文起止時間QI篷!!且至塑生12旦ABSTRACTInordertomeettheopticalinstruments’operatingrequireme

2、ntsofatmosphericradiationsyStems，namely，itmustbehightransmittanceduringvisibleandileal“infraredband，weadoptelectronicbeamingvacuumdepositingmethodwiththeaidofionassistantdepositionsystemsThestructureisdesignedbyTFCsoftwa

3、rewithdoubleefficiencyinterfacetheoryThroughoptimizingtechnicalparameterssuchasdegreeofvacuum，basereservoirtemperature，evaporationrateofT／02andimprovingthemonitormethod，wedepositthefilmonthek9substratewithfourmaterialsof

4、A1203，MgF2，Ti02，S／02Andmeasuredthetransmittanceofthecoatingwiththespectralphotometer，gotthespectrumcurvesofthecoatingInconditionofverticalincidence，theaveragereflectivitybelow15％through400nm—llOOnmwavelengthInaddition，th

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