特種應(yīng)用光學(xué)增透膜與濾光片的制備工藝研究.pdf

1、薄膜的制備工藝技術(shù)是通過各種工藝條件的控制，如真空、膜厚監(jiān)控和溫度控制等來使蒸發(fā)膜料在基片沉積形成薄膜狀態(tài)。每一個(gè)工藝因素都可能對(duì)最終薄膜的性質(zhì)產(chǎn)生重大影響?，F(xiàn)在制備技術(shù)已經(jīng)經(jīng)過長期發(fā)展，種類很多，最常用的一種就是真空熱蒸發(fā)方法。
　　寬帶增透膜在光學(xué)器件生產(chǎn)中有著重要作用。為滿足望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)中光學(xué)元件可見光范圍寬光譜增透的使用要求，根據(jù) Tfcalc軟件優(yōu)化設(shè)計(jì)膜系，使用離子輔助沉積，晶振膜厚控制儀，電子束熱蒸發(fā)鍍膜方法，通

2、過對(duì)鍍膜工藝參數(shù)的不斷改進(jìn)和調(diào)整，制備400-700nm的寬帶增透膜。結(jié)果表明：所制作的可見光增透膜在400-700nm之間平均反射率達(dá)到0.36％,優(yōu)于望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)的增透要求，確定一套優(yōu)化的鍍膜工藝。
　　濾光片在美容、數(shù)碼和軍事等方面應(yīng)用廣泛，針對(duì)美容機(jī)常用的長波通濾光片，設(shè)計(jì)出640nm中心波長的膜系。使用真空鍍膜機(jī)通過電子束蒸發(fā)的方法對(duì)膜系進(jìn)行鍍制。合理的設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)流程，并對(duì)所鍍膜層進(jìn)行性能分析。實(shí)驗(yàn)對(duì)濾光片影響因素進(jìn)行