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文檔簡介
1、本文對電子束蒸發(fā)系統(tǒng)進行了詳細(xì)的研究,并對影響電子束蒸發(fā)的五個主要因素包括鋁源、坩堝、烘烤溫度、高壓供給和真空進行了全面的分析,在理論分析的基礎(chǔ)上,分別對其作了關(guān)鍵性的對比實驗,并對實驗數(shù)據(jù)應(yīng)用MSO EXCEL進行了分析與繪圖,從直觀的角度分析對比,得出了最優(yōu)方案。本文采用遞進優(yōu)化的實驗方法,即先對其中之一的因素作對比實驗,得出較好的條件后將其用于第二個因素實驗的先決條件,依此類推,從而優(yōu)化設(shè)備硬件及工藝條件。通過研究與實驗,得出了適
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